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浸潤式微影原理
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不只EUV,連舊款DUV也禁賣中國!美、荷聯手痛擊 - 數位時代
也就是說,ASML次佳產品線——深紫外光(DUV)微影設備如今也須申請執照才能 ... 連最基礎的45奈米晶片也涵蓋在內,當中包括Nikon浸潤式微影(immersion ...
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