... 單位) , ( ) '是固態沈積物與消耗 SiH2Cl2 氣體的體積比。氣體流量常以每分鐘標準狀況下氣體體積立方釐米數( sccm )表示。從圖 9-17 ( a ) ~ ( e )就是上述模擬理論 ...
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