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基于光电器件用氧化铟基透明导电薄膜 - 第 95 頁 - Google 圖書結果

... 单位为 。如果薄膜的电性能在膜厚方向是均匀的,当膜厚为 d 时,薄膜的电阻率 dd ... 流量 0.3 sccm,溅镀时间 0 - 45min),由于镀膜的速率约为 8 nm/min,所以 ITO 薄膜 ...

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