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新能源材料及其应用技术: 锂离子电池、太阳能电池及温差电池

... 流量比: SiF / Hz / SiH = 30 / 40 / 0.25 sccm ( b )气体流量比: SiF / H / SiH ... 单位。在晶粒的界面处存在高密度的硅的悬空键,对于低温下制备的微晶硅,这些悬空键 ...

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