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氣體流量控制裝置和控制方法及應用該裝置的半導體設備

氣體質量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute，每分鐘標準公升)來表示。這意味著這種儀錶在不同的 ...

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