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sccm单位换算流量单位中SCCM是什么？

这个单位通常用于化学反应，如化学气相沉积，需要精确控制原子组成比（理想气体公式：PV=NRT，SCCM是每分钟标准立方米的缩写，这意味着在标准状态（即1个 ...

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