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先進微電子3D-IC構裝 - 第 148 頁 - Google 圖書結果

以上只是大體上之區分,根據不同公司、組織、研究單位之發展,這些製程仍有一變化,如表 6.2 所示為各家公司之 TSV 技術的製作流程。表 6.1 兩種 TSV 製程比較表[1]步驟 ...

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