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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作

排氣速度以體積速度表示，單位為【l / min】. 或【l / s】。 圖2 為目前實用的主要真空泵浦. 2.5 真空幫浦有何分類. 真空泵浦(vacuum pump)係以 ...

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