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陸半導體有解？ASML光刻機是解藥還是毒藥 - 工商時報

... 奈米左右已是極限，這是因為DUV的紫外光波長193奈米，透過液體浸潤多重 ... 突破基調下，罕見主動澄清N+1只是代號，性能只達國際上7奈米晶片20%。

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