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扩散泵浦工作原理 - 文档视界

隨著科技進步，低蒸汽壓的真空油被研發之後，擴散幫浦便被大量的使用在真空技術上。雖然日前渦輪幫浦，離子幫浦以及冷凍式幫浦持續更新，抽氣速度又快，又乾淨，但是 ...

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