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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作

也有的真空幫. 浦是將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出，諸如油旋轉泵浦、魯式. 鼓風機型的機械式增壓器之類的機械泵浦、擴散泵浦或噴射泵浦之類的蒸氣噴射. 泵 ...

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