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真空系統漏氣的方式

幫浦油盤的充油型截面洩漏. • 氣體滲透(自然滲透) 經由物質 ... 在許多情況下壓力容器或氣體管線（包括真空系統的氣體供給 ... Seff,He：機械式真空幫浦在分岔點對氦的.

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