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小型真空抽氣系統--知識Q&A

油式 擴散幫浦+油迴轉式幫浦. 完整真空方案 ... DP 後者為CP真空PUMP其操作的方式及原理的不同而分爲 ... 低真空幫浦可依製程選用油式或是乾式真空幫浦.

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