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真空幫浦國立台北科技大學真空及超低溫技術研究室鄭鴻斌 ...

此類幫浦的抽氣原理為，被抽除的氣體從進氣口進入幫浦內部後. 被隔絕起來，經過週期性的壓縮及傳送 ... 圖3.6 (a)魯式幫浦(b)典型抽氣性能曲線(c)串聯式的真空抽氣系統.

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