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半导体废气处理方法有哪些？ - 今日热点

半导体有机废气处理方法半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

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