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汽車軸承異音
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萬字淺析EUV國産光刻機的哈工大雷射幹涉儀和清華雙工件台
我們知道ASML DUV工件台的宏動台是采用氣浮加直線電機驅動,運動件和基座之間有一個高壓氣膜,學名叫氣體靜壓軸承。 ... 音圈電機或壓電電機。 音圈電機是 ...
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