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化學機械研磨製程對摻氟二氧化矽的影響

關鍵字: Fluorine-doped Silicon Dioxide;摻氟二氧化矽;Chemical Mechanical Polishing;Moisture Absorption;TDS-APIMS;化學機械研磨;水氣吸附;熱脫附大氣壓力質譜儀.

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