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真空元件與封合技術 - 台灣儀器科技研究中心

空計(vacuum gauge)、真空幫浦(vacuum pump) 等，聯結這些次系統成為系統則需依靠管件 ... 件與封合技術，針對各式真空封合、閥門、引入，及其它附件之真空性能與注意 ...

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