而氯氣供應系統是半導. 體廠中危險性極高的一環,有鑒於氯具有劇毒性與腐蝕特性,在製程上如有. 1. Page 13. 操作或管理不當,極易產生中毒之危害並對生態環境造成影響。故 ...
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