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TW202122707A - 高純度無機化合物二氯矽烷（SiH Cl ...

其中，該安定氣體為氦氣(He)或氮氣(N 2)，使用之氮氣(N 2)為大於等於4N5純度等級。 ... A2殘氣重量檢測(102)，該鋼瓶秤重得知內部的二氯矽烷殘氣量，即殘氣鋼瓶重量減 ...

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