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真空泵浦與真空系統安全手冊 - Edwards Vacuum

真空系統組件發生劇烈爆炸通常是因為可燃性材料著火或泵浦排氣管堵塞或受到阻礙， ... 氮氣） 與製程氣體混合，使製程氣體稀釋至不會發生爆炸或反應的濃度。利用氣體稀.

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