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疊層阻障層鈦/氮化鈦及氮化鉭應用於銅金屬化及鋁金屬化之研究

本研究中，提出一種新穎的疊層鈦/氮化鈦擴散阻障層，並成功的應用在銅金屬化及鋁金屬化之製程。疊層鈦/氮化鈦可阻斷氮化鈦柱狀晶體的的快速通道，並且延緩金屬與矽間的 ...

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