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鈦氮化物薄膜之微結構與特性研究

IVB-VIB 族過渡金屬的雙氮化合物，例如：氮. 化鈦，表現出極佳的機械性質、化學惰性，以及. 良好的導電性，因此被廣泛應用於工業方面，包. 含：工具的保護性表面包附[1, 2] ...

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