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陰極電弧沈積氮化鋁鈦∕氮化鉻奈米多層薄膜之開發與應用

一般製備硬質薄膜採用物理氣相沈積（physical vapor deposition, PVD）技術，最常使用之方法為陰極電弧沈積. （cathodic arc evaporation, CAE）、電子束離子蒸鍍（ ...

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