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江苏华林科纳半导体关于氮化镓的晶体学湿式化学蚀刻的研究

光增强电化学（PEC）湿蚀刻也被证明用于氮化镓。PEC蚀刻具有设备成本相对较低、表面损伤较低的优点，但尚未找到一种生产光滑的垂直侧壁的方法。氮化镓 ...

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