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氮化矽蝕刻
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盛美上海推出新型化合物半導體系列設備加強濕法工藝產品線
... 砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN) 和碳化矽(SiC) 等工藝。化合物半導體濕法工藝產品線包括塗膠設備、顯影設備、光阻去膠設備、濕法蝕刻設備、清洗設備和 ...
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