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氮化矽蝕刻
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化合物半導體材料 - 磊拓科技股份有限公司
... 頻率等優越材料特性,逐漸受到矚目,最具代表性的WBG材料為碳化矽(SiC)、氮化鎵(GaN),在電力電子以及5G高頻等應用上具有提高能源利用效率,降低轉換耗損的優勢。
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