乾蝕刻icp,蝕刻. 氮化矽. 氮化矽. 二氧化矽蝕刻幕罩. 光阻圖案. 基板. 基板. 氮化矽. 二氧化矽蝕刻幕罩. 氮化矽... 乾蝕刻沒有液態的蝕刻... 感應耦合電漿離子蝕刻 ...
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