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半导体蚀刻技术_百度文库

以下将介绍半导体制程中常见几种物质的湿式蚀刻：矽，二氧化矽，氮化矽及铝。 5-2-1 矽的湿式蚀刻在半导体制程中，单晶矽与复晶矽的蚀刻通常利用硝酸 ...

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