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利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構

蝕刻 的材料，例如二氧化矽、氮化矽、或者是硼蝕刻終止層，以便形成蝕刻的屏. 障。隨後再利用濕式非等向性化學蝕刻，進行矽基材的體蝕刻，如果將前述之蝕 ...

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