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氮化矽蝕刻
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http://www.cimme.org.tw/images/Publications/1-mining-Metallurgy/06001/021-029.pdf
氮化矽/碳化鈦奈米複合陶瓷之顯微結構與磨耗行為分析
氮化矽 基陶瓷材料是最受矚目的結構陶瓷材料之一(1,2),其特性為質輕(密度約 ... 拋光後的試片以電漿蝕刻的方法處理,然後鍍金,以增加導電性,以場發射掃瞄式電子顯.
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