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第三章可變電容梳狀懸浮結構製作

示：矽晶片二氧化矽(Silicon Dioxide) 光阻塗佈蝕刻去. 光阻多晶矽沉積去氧化層(犧牲層)。 ... 若使用絕緣材料(氧化矽、氮化矽)為結構層，便挑選(鋁)金屬作為.

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