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蘇州華林科納半導體用磷酸揭示氮化矽對二氧化矽的選擇性蝕刻 ...

關鍵詞:氮化矽，二氧化矽，磷酸，選擇性蝕刻，密度泛函理論，焦磷酸介紹信息技術給我們的現代社會帶來了巨大的轉變。為了提高信息技術器件的存儲密度 ...

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