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碳氮化矽 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：碳氮化矽；蝕刻終止層；低介電常數；起孔洞劑；多孔介電材料；電漿輔助化學氣相沈積；紫外線固化及退火. 在65奈米製程中，碳氮化矽(SiCxNy)薄膜因具有良好的 ...

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