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微機電製程應用於薄膜體聲波元件之研究Fabrication of thin film ...

研究結果顯示，以低壓化學氣相沉積系統製備之1500 Å. 氮化矽薄膜具有最佳蝕刻遮罩效果，且搭配RIE 作兩階段蝕. 刻可得到最佳元件良率；AlN 壓電層的研究結果顯示，氮氣.

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