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以物理氣相沈積法通入空氣/氬氣製備TiN薄膜

TiN的用途廣泛，在過去文獻中以物理氣相沈積法（PVD）製備TiN薄膜者，都是會先抽除腔體中的空氣，再以氮氣做為反應性氣體製備TiN。由於近年來溫室效應與能源議題日益 ...

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