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高科技產業供氣系統最適模式之研究- 以氮氣為例 - 中華大學

經過純化後的空氣進入冷. 箱，在空氣換熱器中與逆流而出的產品氮氣、廢氣等進行熱交換冷卻至接近液化溫. 度。利用氮、氧、氬氣的沸點不同，將沸點較高之雜質陸續冷凍下來 ...

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