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打破芯片制造用气“卡脖子”现状多种电子特气已实现量产
电子特气对纯度的要求非常高,包括氪气、氙气、氩气、氦气、一氧化碳、 ... 据了解,半导体制造过程中的刻蚀、清洗、外延生长、离子注入、掺杂、气相 ...
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