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【芯视野】台积电污染事故敲响警钟,电子气体国产替代难在哪?
台媒《经济日报》指出,台积电南科18a厂此次被污染,主要是因为半导体制程必备的氧气中混入了氩气,而氩气并不参与化学反应,所以对生产过程没有造成影响 ...
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