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氖气在制造半导体过程中的重要性_霓虹灯_准分子激光器 - 搜狐
在含有氩气Ar和氟F2的气体混合物中放电可以产生短寿命的激发态分子(ArF)*。氖主要作为缓冲气体存在,但确实起到了碰撞伙伴的作用,占混合物的95%以上.
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