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高纯氩_化工百科 - ChemBK
高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩可用作色谱载气,也 ...
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