四甲基氫氧化銨(TMAH或TMAOH)是一種分子式為N(CH3)4 + OH − 的季銨鹼,也是這類 ... TMAH有大量、廣泛的工業和科研用途,例如在半導體器件製造中的黃光製程中當顯影 ...
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