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四甲基氫氧化銨合成工藝條件研究 - 中國知網

【摘要】 隨著大規模集成電路的不斷發展,對高純電子級四甲基氫氧化銨(TMAH)的需求量不斷增大,但傳統制取TMAH的方法存在成本高和雜質離子含量高等缺陷。

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