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聯華氣體SMR製氫技術響應半導體龍頭碳足跡計畫

氫氣 最常用於為電子加工過程中提供還原性環境，特別是在高溫過程中。此外，氫氣還可作為載氣應用於化學摻雜等薄膜製備或改性工藝，對於半導體晶圓製造商更 ...

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