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氫氟酸
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http://www.sinotech.org.tw/eerc-ctr/news/asip2016/01.files/article/wa06.pdf
半導體廠氫氟廢水CaCl2 加藥模式建立及減量之應用
目前半導體及光電廠廣泛使用氫氟酸(HF)作. 為濕式蝕刻之化學藥劑,其所排放HF 廢水除了濃. 度較高可委外回收再利用外,其他必須排放至廢水.
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