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氫氟酸處理
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光電業有機酸及無機酸共排淨化效能提升技術
體,酸性氣體主要成份為醋酸、硝酸與部份鹽酸、硫酸、磷酸、氫氟酸等且其處. 理效率除了氫氟酸較差外其他約在80-85%,處理後無法完全解決衍生之臭味問題。
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