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氫氟酸處理
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http://web.cjcu.edu.tw/~ykchen/Semi-conductor/Wash.pdf
清洗製程
阻,清洗晶圓,達到酸鹼中和,. 以進行後續製程。 清洗劑:. • 清洗劑: ... B:緩衝劑(buffer). • F:氫氟酸 ... 異丙醇蒸氣排出須經燃燒處理,. 以利環保.
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