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EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊 ... - Facebook

出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。 ... 而氫原子又能與錫結合，變成氣態的氫化錫，然後被抽出腔體。

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