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常壓電漿束於矽蝕刻之應用 - 工業技術研究院

摘要：常壓電漿技術已廣泛使用於材料表面改質之相關應用產業，其技術包括鍍膜、蝕刻、表面粗. 化及活化，以賦與材料表面具有功能性(如親/疏水特性或具生物相容性等)， ...

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