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熱電漿之應用與診斷

化學觸媒. ○ 刻蝕. ○ 化學氣相沉積（鍍膜）. ○ 電漿材料處理. ○ 表面改性 ... 處理原理. 不完全燃燒. 完全分解，離子化氣體. 氧氣需求程度. 極高. 不需氧氣.

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